SB100A/21A四探針金屬/半導(dǎo)體電阻率測量儀應(yīng)用說明

SB100A/21A是SB100A/21（及SB100A/3）的升級(jí)版，其為用戶提供了使用SB100A/3進(jìn)行四探針測試及實(shí)驗(yàn)的配套軟件，可運(yùn)行于PC機(jī)上，能兼容運(yùn)行在Winxp和Win7系統(tǒng)中，用于自動(dòng)獲取實(shí)驗(yàn)臺(tái)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，并根據(jù)條件生成曲線和報(bào)表，輔助實(shí)驗(yàn)人員自動(dòng)完成實(shí)驗(yàn)，直觀的分析數(shù)據(jù)，獲得實(shí)驗(yàn)結(jié)論，保存實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。本產(chǎn)品的電阻測量范圍可達(dá)10-5—105Ω。

該測量儀由SB118/21型精密電壓電流源，SB120/2四探針樣品測試平臺(tái)及1臺(tái)電腦（選購），并附有配套的軟件系統(tǒng)等組成。產(chǎn)品的硬件詳情可參見SB100A/21及相應(yīng)產(chǎn)品的介紹 。

該產(chǎn)品的軟件系統(tǒng)為用戶提供參數(shù)設(shè)置、實(shí)驗(yàn)流程、實(shí)驗(yàn)方式、數(shù)據(jù)分析、曲線報(bào)表，并在后臺(tái)數(shù)據(jù)庫中進(jìn)行長期保存，實(shí)驗(yàn)人員可以查詢以前的任何一次實(shí)驗(yàn)的結(jié)果、所有的曲線和報(bào)表都可提供打印功能。

SB118/21型精密直流電壓電流源 （帶RS232C接口，詳見該產(chǎn)品使用說明書）

直流電壓源：輸出電壓范圍  0~50V  分20mV、200mV、2V、20V、50V五檔，每檔輸出電壓可連續(xù)調(diào)節(jié)，最高分辨力為1μV，基本wu差為0.05%RD±0.02%FS。

數(shù)字電壓表（4?LED）利用電壓源部分“取樣”端可對被測電壓進(jìn)行測試，測量量程為20mV、200mV、2V、20V、50V（200V），最高分辨力為可達(dá)1μV，基本wu差：0.05%RD±0.02%FS。

直流電流源：輸出電流范圍  0~200mA  分20μA、200μA、2mA、20mA、200mA五檔，每檔輸出電流可連續(xù)調(diào)節(jié)，最高分辨力為1nA，基本wu差為0.03%。

儀器后面板配有一個(gè)為PC/RS232C接口連接至PC機(jī)上，可利用PC機(jī)上的“超級(jí)終端”獲得儀器的測量數(shù)據(jù)。

SB120/2四探針樣品平臺(tái)（詳見該產(chǎn)品使用說明書）

為被測薄膜樣品，利用四探針測量方式測量導(dǎo)體/半導(dǎo)體樣品的電阻和電阻率，提供了方便。